半導(dǎo)體材料超純水系統(tǒng)參數(shù)分析主要是分離溶液中的離子范圍，它無需加熱，更沒有相變過程，因此比傳統(tǒng)的方法能耗低。用反滲透裝置，處理工業(yè)用水，不耗用大量酸堿，無二次污染，它的運(yùn)行費(fèi)用也比較低。反滲透膜分離技術(shù)，簡(jiǎn)稱RO技術(shù)。

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