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熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測(cè)量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級(jí)熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH，一個(gè)是測(cè)量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。

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氣體質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/二氧化碳?xì)?氫氣/天然氣等清潔氣體的流量，主要用于半導(dǎo)體、化工、冶金、空氣分離、機(jī)械制造等生產(chǎn)線(xiàn)上氣體消耗的內(nèi)部結(jié)算；化工行業(yè)的生產(chǎn)過(guò)程用氣的控制測(cè)量