武汉佰力博科技有限公司
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HRMS-800高温四探针测量系统
关键词：高温四探针测量|方块电阻测量|表面电阻率测量|导体电阻率测量|导电薄膜测量|半导体测电阻|薄膜方块电阻测量|薄层电阻率测量|真空气氛测量
品牌：佰力博
产品型号：HRMS-800
产品简介：
为了更方便的研究高温条件下材料的导电性能，佰力博科技已经研发出HRMS-800高温四探针测量系统，该系统可以测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻，该设备按照单晶硅物理测试方法X标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，X于变温、真空及气氛条件下测试半导体材料电学性能的X佳测量系统。
技术规格：
测量温度：室温---600°C ;
控温精度：±1℃ ，显示精度：±0.1℃；
升温斜率：1-5°C/min；测量精度：0.05%；
电阻率：10-5 ～105 Ω.cm ; 电导率：10-5 ～105 s/cm
方块电阻：10-4 ～106 Ω/□；电阻：10-5 ～105 Ω；
探针间距：2±0.01mm；探针压力：0~2kg可调；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
真空腔体漏率标准要小于10-9 Pa•m3/s ;
样品：直径15~30mm，厚度小于4mm；
设备尺寸：666mmX425mmX395mm
功能特点：
1、可以测量高温、真空、气氛下薄膜方块电阻和薄层电阻率；
2、软件、触摸屏、高温炉等集成于一体，可以进行可视化操作；
3、可实现纯净气氛条件下的测量；同时保证探针在高温下不氧化；
4、真空条件下可精准调节探针距离；要求采用碳化钨探针，X高耐温600℃；
5、可自动调节样品测试电压，探针和薄膜接触无火花现象；
6、控温和测温采用同一个传感器，保证样品每次采集的温度都是样品实际温度；
7、可配套使用Keithley2400或2600数字多用表；
其他产品：
高温介电温谱测量系统、高温介电温谱测量系统（带真空、气氛）、高低温介电温谱测量系统、高温绝缘电阻率测量系统、气敏电阻测量系统、多路油浴极化装置、真空封管设备
售后服务：
1、免费安装培训，安装培训过程中供货方工程师的所有费用由供货方承担。
2、安装验收后，由供货方提供主机一年免费保修，终身维护。
3、如果仪器附带软件，供货方提供免费软件升X，同时不定期地邮寄相关资料。
