深圳市中图仪器股份有限公司
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中图仪器SJ6000激光干涉仪采用进口高稳频氦氖激光器、多参数环境补偿技术、双纵模热稳频技术、高速数字信号处理系统等技术，通过与不同的光学镜组结合，实现对线性、垂直度、角度、直线度、平面度等几何量的检测。线性测长精度0.5ppm，激光稳频精度：0.05ppm。
产品特点
SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体：
采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米X的分辨率；
采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；
采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；
采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；
采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等X点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
激光干涉仪图片
主要技术指标
主机
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约8分钟
工作温度范围：(0~40)℃
存储温度范围：(-20~70)℃
环境湿度：(0~95)%RH
环境补偿单元
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa
线性测量
测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)
测量精度：0.5ppm (0~40)℃
测量分辨力：1nm
测量至大速度：4m/s
角度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
测量分辨力：0.1″
平面度测量
轴向量程：(0~15)m
测量范围：±1.5mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
垂直度测量
自动精密转台
型号：WR50
角度测量范围：(0~360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1″
X高转速：10rpm
X高跟踪速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直径：112mm
通信方式：蓝牙传输
供电方式：锂电池
