采用特殊的炉胆结构和加热器布置,炉温均匀性好;
采用特殊结构脱脂箱,密封效果好,脱脂完全,对炉内元件无污染;
具备柔性抽真空、真空预烧结、负压脱脂、TOWAC脱脂、微正压脱脂等功能;
采用X的隔热结构和材料,炉胆隔热性能好、蓄热少;
适于工艺气氛:N2/Ar/H2。
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