加速度传感器,包括由硅膜片、上盖、下盖,膜片处于上盖、下盖之间,
键合在一起;一维或二维纳米材料、
金电极和引线分布在膜片上,并采用压焊工艺引出导线
;工业现场测振传感器,主要是压电式加速度传感器。其工作原理主要利用
压电敏感元件的压电效应得到与振动或者
压力成正比的电荷量或者电压量。目前工业现场典型采用IEPE型加速度传感器,
及内置IC电路压电加速度传感器,
传感器输出与振动量正正比的电压信号,例如:100mV/g (每个加速度单位输出
100mV电压值。1g=9.81m/s-2)
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